HORIBA UVISEL Plus Spektroskopik Elipsometre, gelişmiş ince film, yüzey ve ara yüz karakterizasyonu için en iyi modülerlik ve performans kombinasyonunu sunar.
UVISEL Plus ve FastAcq teknolojisi, ince film kalınlığı ve malzeme araştırma ve işleme, düz panel ekranları, mikroelektronik ve fotovoltaik alanlarında optik sabit ölçümler için en çok yönlü spektroskopik elips ölçerdir.
50µm'ye kadar kalın tabakaların karakterizasyonunun yanı sıra diğer elipsometrelerin göremediği çok ince filmlerin veya arayüzlerin tespit edilmesini sağlar.
İnce film ölçümleri için geliştirilmiş esneklik için tasarlanan UVISEL Plus, desenli örnekler, değişken açı, otomatik haritalama aşaması ve çeşitli aksesuarlar için mikroskoplar sunar, böylece tüm uygulamalar için konfigüre edilebilir.
DeltaPsi2 yazılımı ile hem rutin hem de gelişmiş ince film uygulamalarında eksiksiz bir ölçüm ve modelleme sağlarken, Auto-Soft ara yazılımı; veri toplama ve analizini hızlandırmak için uygun iş akışı sunar.